黑科技！柔性微机电系统成趋势，明年有望在深圳小批量生产
2017-08-08 11:03:38
柔性微机电系统是未来可穿戴医疗健康服务的发展趋势之一，中国科学院深圳先进技术研究院（以下简称“先进院”）研制的柔性微机电系统样机目前正在进行性能优化，预计在2018年底进行小批量生产，先进院的科研成果与企业合作技术转化已在稳步推进中。这是记者8月6日在深圳中心书城举行的“创新知行荟”活动上获取的最新消息，“创新知行荟”是由深圳市科学技术协会、中科院深圳先进院主办的高端科普活动。
深圳先进院研究员王磊博士在“创新知行荟”活动中做了《可穿戴医疗健康技术的未来展望》的专题报告，吸引了300多名市民前来聆听。据介绍，柔性微机机电系统关键技术的研发对可穿戴医疗健康服务的信息通信产品走向小型化、低功耗、高速率具有重要意义，研究的新型穿戴式生命信息智能获取装置将有助于提高心血管预警系统的准确性，降低心血管患者的死亡率，这对已经步入老龄化社会的中国有重要的社会意义。
记者了解到，中国科学院于2016年立项了面向可穿戴医疗健康服务的柔性微机电系统研发与应用示范重点部署项目。该项目针对柔性可穿戴医疗健康设备的关键技术进行研发，经过一年多的开发，项目已经通过中国科学院组织的中期验收，取得的阶段成果主要包括开发具有透气性、柔软度、高粘附性的聚合物层材料的图案化电极；完成连续采集心电信号的图案化金属电极的小批量制备；同时，搭建基于模拟预处理和异步采样技术的全新芯片架构来解决心电采集系统核心芯片的低功耗设计问题。目前样机系统正在进行进一步的性能优化，预计在2018年底进行小批量生产。
在该项目中，图案化金电极采取了柔软、贴合度好、生物兼容性好、成本低廉的聚二甲基硅氧烷为衬底；采取lift-off等微纳工艺，制备出可在体采集心电信号的图案化金属电极，并研究不同电极材料、不同电极线宽以及不同测试方式等因素对心电信号的影响。在无扰式心电信号采集方面目前已经完成低噪声，低频率，低功耗生理信号采集芯片的研制，完成低功耗、小型化心电贴片式监护仪板级方案设计。项目通过开发一体化集成电极、低模量封装的电生理信号采集IC与信号采集器件，研制出适合在人体上舒适穿戴的柔性微机电系统功能样机，开发人体信号感知算法。该项目的成功实施，为人体生理电信号的采集、处理与分析等提供一种安全舒适、稳定可靠的体表接口。
在“创新知行荟”活动中，中科创客学院还展示了基于运动负荷心电图分析的智能跑步衣、集成了21D心率系统的燃速智能健身车、青少年创新教育课程等优秀创客项目，由天益智网带来的“小天”人形机器人现场表演热舞，吸引了300多位市民参与科普活动，现场气氛十分火爆。
柔性微机电系统是未来可穿戴医疗健康服务的发展趋势之一，中国科学院深圳先进技术研究院（以下简称“先进院”）研制的柔性微机电系统样机目前正在进行性能优化，预计在2018年底进行小批量生产，先进院的科研成果与企业合作技术转化已在稳步推进中。这是记者8月6日在深圳中心书城举行的“创新知行荟”活动上获取的最新消息，“创新知行荟”是由深圳市科学技术协会、中科院深圳先进院主办的高端科普活动。
深圳先进院研究员王磊博士在“创新知行荟”活动中做了《可穿戴医疗健康技术的未来展望》的专题报告，吸引了300多名市民前来聆听。据介绍，柔性微机机电系统关键技术的研发对可穿戴医疗健康服务的信息通信产品走向小型化、低功耗、高速率具有重要意义，研究的新型穿戴式生命信息智能获取装置将有助于提高心血管预警系统的准确性，降低心血管患者的死亡率，这对已经步入老龄化社会的中国有重要的社会意义。
记者了解到，中国科学院于2016年立项了面向可穿戴医疗健康服务的柔性微机电系统研发与应用示范重点部署项目。该项目针对柔性可穿戴医疗健康设备的关键技术进行研发，经过一年多的开发，项目已经通过中国科学院组织的中期验收，取得的阶段成果主要包括开发具有透气性、柔软度、高粘附性的聚合物层材料的图案化电极；完成连续采集心电信号的图案化金属电极的小批量制备；同时，搭建基于模拟预处理和异步采样技术的全新芯片架构来解决心电采集系统核心芯片的低功耗设计问题。目前样机系统正在进行进一步的性能优化，预计在2018年底进行小批量生产。
在该项目中，图案化金电极采取了柔软、贴合度好、生物兼容性好、成本低廉的聚二甲基硅氧烷为衬底；采取lift-off等微纳工艺，制备出可在体采集心电信号的图案化金属电极，并研究不同电极材料、不同电极线宽以及不同测试方式等因素对心电信号的影响。在无扰式心电信号采集方面目前已经完成低噪声，低频率，低功耗生理信号采集芯片的研制，完成低功耗、小型化心电贴片式监护仪板级方案设计。项目通过开发一体化集成电极、低模量封装的电生理信号采集IC与信号采集器件，研制出适合在人体上舒适穿戴的柔性微机电系统功能样机，开发人体信号感知算法。该项目的成功实施，为人体生理电信号的采集、处理与分析等提供一种安全舒适、稳定可靠的体表接口。
在“创新知行荟”活动中，中科创客学院还展示了基于运动负荷心电图分析的智能跑步衣、集成了21D心率系统的燃速智能健身车、青少年创新教育课程等优秀创客项目，由天益智网带来的“小天”人形机器人现场表演热舞，吸引了300多位市民参与科普活动，现场气氛十分火爆。
